சுருக்கம்
On optimization of regimes of epitaxy fromgas phase in a horizontal reactor
E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva
In this paper we analyzed mass and heat transport in a horizontal reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.
மறுப்பு: இந்த சுருக்கமானது செயற்கை நுண்ணறிவு கருவிகளைப் பயன்படுத்தி மொழிபெயர்க்கப்பட்டது மற்றும் இன்னும் மதிப்பாய்வு செய்யப்படவில்லை அல்லது சரிபார்க்கப்படவில்லை
