சுருக்கம்

On controlling of gas and heat transport in a vertical reactor process to improve properties of epitaxial layers

E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva


In this paper we analyzed mass and heat transport in a reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.


மறுப்பு: இந்த சுருக்கமானது செயற்கை நுண்ணறிவு கருவிகளைப் பயன்படுத்தி மொழிபெயர்க்கப்பட்டது மற்றும் இன்னும் மதிப்பாய்வு செய்யப்படவில்லை அல்லது சரிபார்க்கப்படவில்லை

குறியிடப்பட்டது

  • CASS
  • கூகுள் ஸ்காலர்
  • ஜே கேட் திறக்கவும்
  • சீனாவின் தேசிய அறிவு உள்கட்டமைப்பு (CNKI)
  • CiteFactor
  • காஸ்மோஸ் IF
  • MIAR
  • ரகசிய தேடுபொறி ஆய்வகங்கள்
  • யூரோ பப்
  • பார்சிலோனா பல்கலைக்கழகம்
  • ICMJE

மேலும் பார்க்க

ஜர்னல் எச்-இண்டெக்ஸ்

Flyer